Microscopio Electrónico de Barrido
Filamento de Tungsteno
Modo de alto y bajo vacío.
Resolución: 3.5 nm (alto vacío)
5 nm (bajo vacío)
Voltaje Acelerador: 0.3 a 30 kV
Detectores de electrones secundarios y retrodispersados
Sistema EDS
Sistema de difracción con electrones retrodispersados (EBSD)
