
Cañon de emisión de campo de 30 kV
Modo alto y bajo vacío
Resolución: 1 nm a 30 kV (Alto vacío)
1.5 nm a 10 kV (Bajo vacío)
Voltaje Acelerador: 200 V a 30 kV
Detectores: Detector de electrones secundarios
Detector de electrones retrodispersados
Detector modo STEM
Sistema EDS